水是大多數生命形式中的資源之一，在地球上非常豐富。對于大多數工業應用來說，水被認為是一種污染物，需要大量的精力和工程，來減少水。

　　任何濕度測量的基本目標是確定某種介質或過程中水蒸氣（即氣體）的量。濕度測量可以涵蓋從十億分之一到完全飽和的蒸汽的廣泛動態范圍，該范圍是10到9的冪的令人印象深刻的動態范圍。微量水分是指少量水蒸氣的測量，通常在百萬分之幾的范圍內。

　　痕量水分測量的常見應用是壓縮空氣。壓縮空氣通常被稱為第四實用程序，可用于電動工具，噴漆房，重型機械操作等。當壓縮空氣管線中水過多時，可能會發生一些問題，例如腐蝕，結冰，并損壞設備。

　　微量水分測量對于處理氮氣或其他高純度氣體的應用也至關重要。氫冷發電機須有非常干燥的氣體，以防止任何潛在的火花和爆炸。電力變壓器在絕緣油的頂部需要一個加壓的氮氣層。所有這些應用都需要仔細而準確地測量水含量。

　　有幾種測量微量水分的方法。氧化鋁傳感器被認為是行業的主力軍，它們制造起來相對簡單，涵蓋了從-100到+20oC露點的各種測量范圍。氧化鋁傳感器在多孔氧化鋁層的頂部沉積有一層金膜，該金膜吸收其中的水蒸氣。中央鋁芯和金膜形成一個2位電容器，其中電介質是氧化物層，被電介質吸收的水與傳感器周圍氣體的水分含量直接相關。

　　盡管氧化鋁傳感器用途廣泛，但并不美。其缺點包括干燥時間和準確性。如果傳感器的氧化膜完全被水浸透，并且是在干凈，干燥的空氣中引入的，則可能需要花費大量時間（長達幾個小時）才能使水“變干”，傳感器才能準確記錄下過程的真實露點。干燥時間取決于幾個因素，例如流速和管線壓力。

　　氧化鋁傳感器的精度約為±1oC至2oC，因此通常不用于高精度應用。每當需要更高的精度時，建議使用其他技術，例如冷鏡式露點儀。

　　氧化鋁傳感器依靠將電容與露點相關聯來間接測量露點，而冷鏡式露點儀直接測量露點。冷鏡式露點儀使用反射表面將其冷卻至露水開始形成的確切溫度，并使用光源對其進行檢測。通過控制該鏡面表面的溫度，可以確定被測氣體的確切露點溫度。這種方法可產生令人印象深刻的精度，約為±0.1oC或更高，這使其成為測量痕量水分的準確方法。

　　冷凍鏡濕度計需要清潔的氣體樣本，低壓和其他一些要求。大多數應用程序包括實驗室和研發公司。可調諧二極管激光吸收光譜是一項新開發的技術，它提供了一種無漂移的方法來測量痕量水分，而幾乎沒有干燥時間。

　　存在許多測量痕量水分的方法。沒有哪一種方法是美的，好的方法取決于應用程序。新技術不斷發展，每種技術都有其自身的優點和缺點。